真空泵

凯尼KC&KTC系列 滑阀真空泵其他产品

品牌:泰悉尔

型号:

KC-5、KC-8、KC-15、KTC-21、KTC-60、KTC-112

用途:

制冷系统排气、液态气体储存、制动液加液系统、低压化学气相沉积(LPCVD)、硅晶生长、泄漏检测

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凯尼KC&KTC系列双极滑阀真空泵是机械式真空泵中可获得最低压力的泵,推荐应用于工作压力低于0.1Torr(0.13mbar)的工况。标准产品都配置可调节气镇阀,可以处理含水蒸气或其他蒸汽的介质。KC&KTC滑阀泵都是风冷系统,除了KTC-112滑阀泵是水冷系统(风冷系统可供选择)。该泵采用三联滑阀设计确保泵自身动态平衡;滑阀与泵腔之间充满了油且没有金属与金属间的接触;该系列双极滑阀泵特别可靠和经久耐用。

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